[实用新型]承载装置及检测设备有效

专利信息
申请号: 202220039872.9 申请日: 2022-01-06
公开(公告)号: CN216791248U 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 王赢;张龙;陈鲁;张嵩 申请(专利权)人: 深圳中科飞测科技股份有限公司
主分类号: G01D21/00 分类号: G01D21/00
代理公司: 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 代理人: 许青华
地址: 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请公开了一种承载装置及检测设备,所述承载装置包括承载台与吸附件,所述吸附件的周侧包括多个支撑件,多个所述支撑件设于所述承载台上,并且每个所述支撑件与所述吸附件的中心位置的距离相同,所述支撑件的支撑面的高度突出于所述吸附件的吸附面;所述承载装置还包括多个第一传感器,多个所述第一传感器设于所述支撑件的周侧,并与所述支撑件错位设置,所述第一传感器用于检测与待测件之间的距离,通过所述第一传感器,能够准确的判断所述待测件的放置状态,当所述待测件放置位置偏移或出现翘起情况时,能够及时提醒用户或进行调整,从而提高了对所述待测件的检测效率。
搜索关键词: 承载 装置 检测 设备
【主权项】:
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