[实用新型]承载装置及检测设备有效
| 申请号: | 202220039872.9 | 申请日: | 2022-01-06 |
| 公开(公告)号: | CN216791248U | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
| 发明(设计)人: | 王赢;张龙;陈鲁;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01D21/00 | 分类号: | G01D21/00 |
| 代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 许青华 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 承载 装置 检测 设备 | ||
1.一种承载装置,其特征在于,所述承载装置包括承载台与吸附件,所述吸附件的周侧包括多个支撑件,多个所述支撑件设于所述承载台上,并且每个所述支撑件与所述吸附件的中心位置的距离相同,所述支撑件的支撑面的高度突出于所述吸附件的吸附面;
所述承载装置还包括多个第一传感器,多个所述第一传感器设于所述支撑件的周侧,并与所述支撑件错位设置,所述第一传感器用于检测与待测件之间的距离。
2.根据权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述支撑件包括引导面,所述引导面设于所述支撑件的所述支撑面远离所述吸附件的一侧,所述引导面为向所述吸附件一侧倾斜的斜面结构。
3.根据权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述承载装置还包括第二传感器,所述第二传感器与所述吸附件的中心位置的距离和所述支撑件与所述吸附件的中心位置的距离相同,所述第二传感器用于采集待测件的边缘图像,以确定所述待测件在所述承载装置上的相对位置。
4.根据权利要求3所述的承载装置,其特征在于,第三传感器为线阵相机或面阵相机,若所述第二传感器为线阵相机时,所述承载装置包括至少一个所述第二传感器,若所述第二传感器为面阵相机时,所述承载装置包括至少三个所述第二传感器。
5.根据权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述承载装置还包括第三传感器,所述第三传感器设于任一个所述支撑件的支撑面上,所述第一传感器用于检测所述承载装置是否放置在所述承载装置上。
6.根据权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述承载装置还包括第四传感器,所述第四传感器设于所述吸附件的周侧,所述第四传感器的高度高于所述支撑件的支撑面,所述第四传感器向平行于所述承载台的方向发射检测信号,并根据所述检测信号判断待测件的放置状态。
7.根据权利要求1所述的承载装置,其特征在于,所述承载装置还包括移动装置,所述移动装置包括升降组件,所述升降组件与所述吸附件连接,所述升降组件用于带动所述吸附件沿所述承载台的垂直方向移动。
8.根据权利要求7所述的承载装置,其特征在于,所述移动装置还包括位移组件,所述位移组件与所述升降组件连接,所述位移组件用于带动所述升降组件以及所述吸附件沿平行于所述承载台的平面上移动。
9.根据权利要求8所述的承载装置,其特征在于,所述移动装置还包括转动组件,所述转动组件的两端分别于所述升降组件以及所述吸附件连接,所述转动组件用于调整所述吸附件的俯仰角度。
10.一种检测设备,其特征在于,所述检测设备包括如权利要求1-9任一项所述的承载装置。
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