[发明专利]一种五氟化磷气体的制备方法在审
| 申请号： | 202211740261.8 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116253301A | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 岳敏;张春晖 | 申请（专利权）人： | 浙江研一新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B25/10 | 分类号： | C01B25/10;B01D53/32 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 324100 浙江省衢州市江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种五氟化磷气体的制备方法。所述制备方法包括以下步骤：(1)将磷源和无水氢氟酸反应得到第一生成物，将所述第一生成物分解得到第二生成物；(2)对步骤(1)所述第二生成物进行预处理后得到粗制五氟化磷气体，经电离吸附处理，得到纯净的五氟化磷气体。本发明制备得到的五氟化磷气体具有低杂质和高纯的效果。制备成本低、纯度高、可连续化生产、能耗低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氟化 气体 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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