[发明专利]一种蒸发镀膜机用蒸发源

摘要

本发明公开了一种蒸发镀膜机用蒸发源，其包括：外壳和坩埚，外壳的内部开设有加热腔，加热腔的内部均匀的设置有若干个加热座，加热座包括加热筒、限位筒和第二加热丝，限位筒设置在加热筒的内部，第二加热丝缠绕在限位筒的外壁并位于加热筒的内部，且限位筒的内部开设有放置槽，坩埚安装在放置槽的内部，外壳的内部位于加热座的上方设置有喷嘴盖板。本发明公开的蒸发源能够能够保证坩埚受热的均匀性，避免了因坩埚受热不均匀而导致其内部的蒸镀材料受热不均匀致使蒸镀材料变质或者喷发的情况发生，还能够保证喷嘴内部温度的稳定，避免了因喷嘴的温度较低而导致蒸镀材料在喷嘴内部凝固对喷嘴造成堵塞的麻烦出现，提高了蒸镀质量和效率。