[发明专利]一种蒸发镀膜机用蒸发源

说明书

本发明公开了一种蒸发镀膜机用蒸发源，其包括：外壳和坩埚，外壳的内部开设有加热腔，加热腔的内部均匀的设置有若干个加热座，加热座包括加热筒、限位筒和第二加热丝，限位筒设置在加热筒的内部，第二加热丝缠绕在限位筒的外壁并位于加热筒的内部，且限位筒的内部开设有放置槽，坩埚安装在放置槽的内部，外壳的内部位于加热座的上方设置有喷嘴盖板。本发明公开的蒸发源能够能够保证坩埚受热的均匀性，避免了因坩埚受热不均匀而导致其内部的蒸镀材料受热不均匀致使蒸镀材料变质或者喷发的情况发生，还能够保证喷嘴内部温度的稳定，避免了因喷嘴的温度较低而导致蒸镀材料在喷嘴内部凝固对喷嘴造成堵塞的麻烦出现，提高了蒸镀质量和效率。

技术领域

本发明涉及蒸镀设备技术领域，具体涉及一种蒸发镀膜机用蒸发源。

背景技术

蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面沉积获得薄膜材料的方法，又称为真空蒸镀或真空镀膜，能在金属、半导体、绝缘体甚至塑料、纸张、织物表面上沉积金属、半导体、绝缘体、不同成分比的合金、化合物及部分有机聚合物等的薄膜，真空蒸发镀膜的原理是将镀膜材料放置于蒸镀装置的蒸发源中加热蒸发，形成的镀膜材料的气体分子或原子沉积到待镀膜基板上形成膜层，蒸发源是蒸发镀膜机中用来加热膜料使之气化蒸发的部件，蒸发源一般由坩埚和设于坩埚上方的多个喷嘴组成，通过对坩埚进行加热，使其中的蒸镀材料变为蒸气，在坩埚内部均匀后蒸气从喷嘴喷出至基板上成膜。

现有的蒸发源的加热装置大多数都是将加热丝分散设置在坩埚的外围对坩埚进行加热，这种加热方式容易让坩埚受热不均匀，会出现坩埚靠近加热丝的部分升温快，坩埚远离加热丝的部分升温较慢的情况，从而导致因坩埚内的蒸镀材料局部受热过高而致使蒸镀材料变质或者喷发的麻烦出现，并且，喷嘴与加热丝之间的距离较远，喷嘴内部的温度较低，容易出现蒸镀材料在喷嘴中凝固堵塞喷嘴的情况，影响了蒸镀质量和效率。因此，本领域技术人员提供了一种蒸发镀膜机用蒸发源，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸发镀膜机用蒸发源，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种蒸发镀膜机用蒸发源，包括：外壳和坩埚，外壳的内部开设有加热腔，加热腔的内部均匀的设置有若干个加热座，加热座包括加热筒、限位筒和第二加热丝，限位筒设置在加热筒的内部，第二加热丝缠绕在限位筒的外壁并位于加热筒的内部，且限位筒的内部开设有放置槽，坩埚安装在放置槽的内部，外壳的内部位于加热座的上方设置有喷嘴盖板，喷嘴盖板的内部与若干个加热座对应的位置均嵌设有喷嘴本体，喷嘴本体的底部设置有连接盖，连接盖套设在加热筒的顶部并覆盖在坩埚的上方，且喷嘴本体、连接盖均与坩埚相连通，外壳的顶部设置有用于封闭加热腔的顶盖，顶盖的内部开设有空腔，空腔的内部与若干个喷嘴本体对应的位置设置有喷嘴套筒，若干个喷嘴本体分别贯穿于喷嘴套筒并与顶盖的上端面相平齐，且若干个喷嘴套筒的外壁均缠绕有第一加热丝。

优选地，加热筒与限位筒之间设置有夹槽，第二加热丝缠绕在限位筒的外壁并位于夹槽的内部。

优选地，加热筒的材质为保温隔热材料，限位筒的材质为导热材料，坩埚的外壁贴合在放置槽的内壁。

优选地，喷嘴盖板的内部开设有螺纹槽，连接盖通过螺纹槽安装在喷嘴盖板的内部。

优选地，连接盖的内部开设有插槽，连接盖通过插槽套装在加热筒的顶部。

优选地，插槽的内壁设置有密封套，密封套紧贴在加热筒的外壁，且密封套的材质为耐高温密封圈。

优选地，喷嘴套筒的内部开设有容纳腔，容纳腔的形状与喷嘴本体的形状相同，且喷嘴本体贴合在容纳腔的内壁。

优选地，加热腔的内壁两端均设置有用于限位板，喷嘴盖板通过限位板卡合在外壳的内部，且喷嘴盖板的下端面紧贴在加热筒的上端面。