[发明专利]光学气体传感器及制造方法在审
| 申请号： | 202211726259.5 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116046710A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 张宾;刘文超;朱瑞;程元红;陈新准 | 申请（专利权）人： | 广州奥松电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/01;B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 聂志伟 |
| 地址： | 510530 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学气体传感器及制造方法，光学气体传感器包括光源组件、第一腔室、探测器组件、第二腔室和滤光片，光源组件包括发光层、第一电极结构和第一支撑层，发光层电连接第一电极结构，发光层与第一支撑层连接；第一支撑层与第一腔室连接，第一腔室具有刻蚀形成的内腔，第一腔室的侧壁设置有微型气孔通道；探测器组件包括接收层、第二电极结构和第二支撑层，接收层电连接第二电极结构，接收层与第二支撑层连接；第二支撑层与第二腔室连接，第二腔室具有刻蚀形成的内腔；滤光片位于第一腔室和第二腔室之间。采用MEMS工艺制成的光学传感器，光学传感器通过晶圆键合工艺封装，工艺简单。本发明可广泛应用于气体传感器技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 气体 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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