[发明专利]一种微环谐振腔的硅基电光调制器在审
| 申请号： | 202211720740.3 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116125687A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 王乾圣;胡晓;肖希;王磊;刘阳;徐路;陈代高;张红广 | 申请（专利权）人： | 鹏城实验室;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/015 | 分类号： | G02F1/015;G02F1/025 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 牛晶晶 |
| 地址： | 518051 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微环谐振腔的硅基电光调制器，其包括：微环谐振腔以及直波导，微环谐振腔包括内环和外环，所述内环与所述外环均为封闭的圆环，且所述内环与所述外环的圆心位于同一点，所述内环与所述外环上均设有掺杂区，掺杂区包括P型掺杂区与N型掺杂区；所述直波导沿所述外环的径向设置于所述外环的一侧，且所述直波导与所述外环耦合，以在所述直波导的两端形成输入端和直通端。改变掺杂区的掺杂浓度，可以改变波导的折射率与吸收系数，从而实现微环的调谐与调制。并且在仿真及设计过程中，通过选取合适的同心圆内环与外环的参数，可以实现双环互耦合，以调节谐振腔由于工艺技术限制等原因造成的后向散射带来的谐振分裂情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振腔 电光 调制器 | ||
【主权项】：
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