[发明专利]标记对准方法在审
| 申请号： | 202211717373.1 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN116107177A | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 杨子默;唐燕;周鑫;冯金花;王彦钦;李奕;赵立新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G06F17/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 肖慧 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本公开提供一种模板与基板对准方法，包括：对标记图像分别按行或列进行灰度求和，得到各行对应的第一投影求和曲线和各列对应的第二投影求和曲线；基于各行对应的第一投影求和曲线和各列对应的第二投影求和曲线，计算一组模板和基板标记中心坐标的平均值和标准差，对图像轮廓添加横向处理窗口或纵向处理窗口；提取横向处理窗口中各行对应的第一轮廓灰度曲线或纵向处理窗口中各列对应的第二轮廓灰度曲线；根据各行对应的第一轮廓灰度曲线或各列对应的第二轮廓灰度曲线，计算另一组模板和基板标记中心坐标的平均值和标准差；对两组平均值和标准差进行统计融合，得到对准偏差；根据对准偏差对模板与基板进行对准。该方法提高了模板与基板的对准精度。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 对准 方法 | ||
【主权项】：
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