[发明专利]标记对准方法

权利要求书

1.一种模板与基板对准方法，其特征在于，包括：

对标记图像分别按行或列进行灰度求和，得到各行对应的第一投影求和曲线和各列对应的第二投影求和曲线；

基于各行对应的第一投影求和曲线和各列对应的第二投影求和曲线，计算模板标记中心坐标的第一平均值和第一标准差以及基板标记中心坐标的第二平均值和第二标准差；

提取所述标记图像的图像轮廓，对所述图像轮廓添加横向处理窗口或纵向处理窗口；

提取所述横向处理窗口中各行对应的第一轮廓灰度曲线或所述纵向处理窗口中各列对应的第二轮廓灰度曲线；

根据各行对应的第一轮廓灰度曲线或各列对应的第二轮廓灰度曲线，计算模板标记中心坐标的第三平均值和第三标准差以及基板标记中心坐标的第四平均值和第四标准差；

对所述第一平均值、所述第一标准差、所述第二平均值、所述第二标准差、所述第三平均值、所述第三标准差、所述第四平均值和所述第四标准差进行统计融合，得到对准偏差；

根据所述对准偏差对模板与基板进行对准。

2.根据权利要求1所述的模板与基板对准方法，其特征在于，所述基于各行对应的第一投影求和曲线和各列对应的第二投影求和曲线，计算模板标记中心坐标的第一平均值和第一标准差以及基板标记中心坐标的第二平均值和第二标准差包括：

通过第一灰度阈值切割所述第一投影求和曲线，通过第二灰度阈值切割所述第二投影求和曲线；

计算所述第一投影求和曲线上大于所述第一灰度阈值的每个峰值对应的第一重心，计算所述第二投影求和曲线上大于所述第二灰度阈值的每个峰值对应的第二重心；

根据所述第一重心和所述第二重心计算所述模板标记中心坐标和基板标记中心坐标；

改变所述第一灰度阈值和所述第二灰度阈值的大小，重复执行以上操作，得到多个所述模板标记中心坐标和基板标记中心坐标；

根据多个所述模板标记中心坐标计算所述第一平均值和第一标准差，根据多个所述基板标记中心坐标计算所述第二平均值和第二标准差。

3.根据权利要求2所述的模板与基板对准方法，其特征在于，所述根据所述第一重心和所述第二重心计算所述模板标记中心坐标和基板标记中心坐标包括：

根据所述第一重心确定所述第一投影求和曲线上峰值大于所述第一灰度阈值的各个峰对应的纵坐标；

根据所述第二重心确定所述第二投影求和曲线上峰值大于所述第二灰度阈值的各个峰对应的横坐标；

根据所述各个峰对应的纵坐标和所述各个峰对应的横坐标计算所述模板标记中心坐标和基板标记中心坐标。

4.根据权利要求3所述的模板与基板对准方法，其特征在于，根据

计算所述第一重心或所述第二重心g_k(i)，其中，x为所述标记图像中像素点的行数或列数，S(x)为第x行或列像素点的灰度值之和，k为所述第一投影求和曲线上峰值大于所述第一灰度阈值的峰的编号或所述第二投影求和曲线上峰值大于所述第二灰度阈值的峰的编号，x1和x2分别为第k个峰值被切割后的起始点和终点，i为所述第一灰度阈值的改变次数或所述第二灰度阈值的改变次数。