[发明专利]用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统在审
| 申请号： | 202211715358.3 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN115847642A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 蔡震;刘秀坤;李斌全;孙冲;王尧君 | 申请（专利权）人： | 大连连城数控机器股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02;B28D7/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理有限公司 11613 | 代理人： | 薛晓萌 |
| 地址： | 116031 辽宁省大连市甘井子区营城*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于硅片加工技术领域，尤其涉及用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统。该系统包括蠕动泵和复合水箱，复合水箱包括第一水箱和第二水箱；蠕动泵包括蠕动泵进水口，第一水箱和第二水箱分别设置有第一水箱出水口和第二水箱出水口，蠕动泵进水口通过第一控制阀可选择地与第一水箱出水口或第二水箱出水口连通。由此，该系统将蠕动泵与复合水箱相结合，轻松完成多线程液体分流任务来满足金刚线切片时对金刚线及硅棒的冷却工作，且蠕动泵使切割液在水箱内液面低于吸水管时可以实现空抽。复合水箱相当于将整个水箱内部分成两个小水箱，两个水箱通过控制阀控制交替工作，来实现长时间的持续切片，大大提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 冷却 金刚 切片机 切割 循环系统 | ||
【主权项】：
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