[发明专利]用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统

说明书

本发明属于硅片加工技术领域，尤其涉及用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统。该系统包括蠕动泵和复合水箱，复合水箱包括第一水箱和第二水箱；蠕动泵包括蠕动泵进水口，第一水箱和第二水箱分别设置有第一水箱出水口和第二水箱出水口，蠕动泵进水口通过第一控制阀可选择地与第一水箱出水口或第二水箱出水口连通。由此，该系统将蠕动泵与复合水箱相结合，轻松完成多线程液体分流任务来满足金刚线切片时对金刚线及硅棒的冷却工作，且蠕动泵使切割液在水箱内液面低于吸水管时可以实现空抽。复合水箱相当于将整个水箱内部分成两个小水箱，两个水箱通过控制阀控制交替工作，来实现长时间的持续切片，大大提高了工作效率。

技术领域

本发明属于硅片加工技术领域，尤其涉及一种用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统。

背景技术

金刚线切片机是当今光伏硅片加工的一种高效机床，主要加工方法是采用往复运动的金刚线对硅棒进行切割。三个呈三角排布的切割辊正反向旋转以实现两个切割辊之间的金刚线往复运动，晶棒在进给装置的驱动下向切割辊之间的金刚线做进给运动，往复运动的金刚线将晶棒切成片。在切割过程中，必须采用切割液对加工部位进行冷却。

然而，现有机床使用的用于抽取切割液的离心泵的吸水管只能置于液面下，不能进行空抽，这样对盛装切割液的水箱内部的溶液平面把控要求严格。另外切割液箱的新旧液更换效率低，都已不适应当今以及未来超细线、超高速切片的要求。

发明内容

(一)要解决的技术问题

为了解决现有技术的上述问题，本发明提供一种用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统，从而解决了对盛装切割液的水箱内部的溶液平面难以把控，切割液箱的新旧液更换效率低的技术问题。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

本发明提供了一种用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统，包括蠕动泵和复合水箱，复合水箱包括第一水箱和第二水箱；蠕动泵包括蠕动泵进水口，第一水箱和第二水箱分别设置有第一水箱出水口和第二水箱出水口，蠕动泵进水口通过第一控制阀可选择地与第一水箱出水口或第二水箱出水口连通。

进一步，还包括加液模块，加液模块包括计量式全自动加液箱和第二控制阀，计量式全自动加液箱与第二控制阀通过出液管连接，第二控制阀上连接有第一加液管和第二加液管，第一加液管和第二加液管分别与第一水箱和第二水箱连接。

进一步，还包括换热器，换热器包括换热器进水口和换热器出水口，蠕动泵包括蠕动泵出水口，蠕动泵出水口与换热器进水口相连；换热器设置有冷水进口和冷水出口，冷水进口与冷水出口分别设置在换热器的对侧且位于上下两端；冷水进口和冷水出口所形成的流体通道与换热器进水口和换热器出水口所形成的流体通道之间换热。

进一步，还包括反冲过滤器，反冲过滤器包括反冲过滤器进水口和反冲过滤器出水口；换热器出水口与反冲过滤器进水口相连，反冲过滤器内设置有过滤板用于过滤进入反冲过滤器的切割液；反冲过滤器进水口和反冲过滤器出水口分别位于过滤板不同侧的区域。

进一步，第一水箱和第二水箱分别设置有第一出水管和第二出水管，第一出水管和第二出水管汇集成一个第一总出水管，第一出水管和第二出水管汇集处设置有第一控制阀，第一控制阀用于控制第一出水管和第二出水管的独立开闭，蠕动泵进水口与第一总出水管连接；第一水箱和第二水箱分别设置有第三出水管和第四出水管，第三出水管和第四出水管汇集成一个第二总出水管，第三出水管和第四出水管汇集处设置有第三控制阀，第三控制阀用于控制第三出水管和第四出水管的独立开闭，第二总出水管连接有废液箱。

进一步，反冲过滤器上设置有反冲水箱和排污管，排污管与废液箱连接。

进一步，反冲过滤器出水口通过第五出水管与一体支座连接；第五出水管上设置有流量传感器、压力传感器和温度传感器。