[发明专利]用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统

权利要求书

1.一种用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统，其特征在于，包括蠕动泵(1)和复合水箱(2)，所述复合水箱(2)包括第一水箱(21)和第二水箱(22)；

所述蠕动泵(1)包括蠕动泵进水口(11)，所述第一水箱(21)和所述第二水箱(22)分别设置有第一水箱出水口和第二水箱出水口，所述蠕动泵进水口(11)通过第一控制阀(6)可选择地与第一水箱出水口或第二水箱出水口连通。

2.根据权利要求1所述的用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统，其特征在于，还包括加液模块(7)，所述加液模块(7)包括计量式全自动加液箱(71)和第二控制阀(72)，所述计量式全自动加液箱(71)与所述第二控制阀(72)通过出液管(73)连接，所述第二控制阀(72)上连接有第一加液管(74)和第二加液管(75)，所述第一加液管(74)和所述第二加液管(75)分别与所述第一水箱(21)和所述第二水箱(22)连接。

3.根据权利要求1所述的用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统，其特征在于，还包括换热器(8)，所述换热器(8)包括换热器进水口(81)和换热器出水口(82)，所述蠕动泵(1)包括蠕动泵出水口(12)，所述蠕动泵出水口(12)与所述换热器进水口(81)相连；

所述换热器(8)设置有冷水进口(83)和冷水出口(84)，所述冷水进口(83)与所述冷水出口(84)分别设置在所述换热器(8)的对侧且位于上下两端；

所述冷水进口(83)和所述冷水出口(84)所形成的流体通道与所述换热器进水口(81)和所述换热器出水口(82)所形成的流体通道之间换热。

4.根据权利要求3所述的用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统，其特征在于，还包括反冲过滤器(9)，所述反冲过滤器(9)包括反冲过滤器进水口(91)和反冲过滤器出水口(92)；

所述换热器出水口(82)与所述反冲过滤器进水口(91)相连，所述反冲过滤器(9)内设置有过滤板(93)用于过滤进入所述反冲过滤器(9)的切割液；

所述反冲过滤器进水口(91)和所述反冲过滤器出水口(92)分别位于所述过滤板(93)不同侧的区域。

5.根据权利要求4所述的用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统，其特征在于，所述第一水箱(21)和所述第二水箱(22)分别设置有第一出水管(3)和第二出水管(4)，所述第一出水管(3)和所述第二出水管(4)汇集成一个第一总出水管(5)，所述第一出水管(3)和所述第二出水管(4)汇集处设置有第一控制阀(6)，所述第一控制阀(6)用于控制所述第一出水管(3)和所述第二出水管(4)的独立开闭，所述蠕动泵进水口(11)与所述第一总出水管(5)连接；

所述第一水箱(21)和所述第二水箱(22)分别设置有第三出水管(10)和第四出水管(27)，所述第三出水管(10)和所述第四出水管(27)汇集成一个第二总出水管(28)，所述第三出水管(10)和所述第四出水管(27)汇集处设置有第三控制阀(13)，所述第三控制阀(13)用于控制所述第三出水管(10)和所述第四出水管(27)的独立开闭，所述第二总出水管(28)连接有废液箱(14)。

6.根据权利要求4所述的用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统，其特征在于，所述反冲过滤器(9)上设置有反冲水箱(94)和排污管(95)，所述排污管(95)与所述废液箱(14)连接。

7.根据权利要求4所述的用于冷却金刚线切片机中金刚线及硅棒的切割液循环系统，其特征在于，所述反冲过滤器出水口(92)通过第五出水管(15)与一体支座(16)连接；

所述第五出水管(15)上设置有流量传感器(17)、压力传感器(18)和温度传感器(19)。