[发明专利]一种液氦制冷平台的高精度位移控制装置在审
| 申请号： | 202211694916.2 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116015122A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 王世敏;唐亚楠;雎长城;蒋尚池 | 申请（专利权）人： | 南京迈塔光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H02P8/40 | 分类号： | H02P8/40;H02N2/06;G01B11/00 |
| 代理公司： | 南京苏博知识产权代理事务所(普通合伙) 32411 | 代理人： | 孙斌 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江北新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及液氦制冷平台控制系统技术领域，具体涉及一种液氦制冷平台的高精度位移控制装置；包括液氦冷台、XY位移台、转接板、步进电机模块、压电驱动模块和计算机，步进电机模块包括第一步进电机、第二步进电机、第一光栅编码器、第二光栅编码器和步进电机控制盒，第一步进电机贯穿XY位移台，第一光栅编码器和第二光栅编码器设置于XY位移台的内部，第二步进电机设置于XY位移台的外侧，步进电机控制盒设置于XY位移台外侧，通过步进电机模块提供大范围移动，行程可达50mm，压电驱动模块提供高精度位移，位移精度可达20nm，第一光栅编码器和第二光栅编码器提供位置反馈，实时获取样品实际位置，满足液氦冷台位移测试需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制冷 平台 高精度 位移 控制 装置 | ||
【主权项】：
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