[发明专利]一种液氦制冷平台的高精度位移控制装置

权利要求书

1.一种液氦制冷平台的高精度位移控制装置，其特征在于，

包括液氦冷台、XY位移台、转接板、步进电机模块、压电驱动模块和计算机，所述XY位移台与所述转接板固定连接，所述液氦冷台与所述XY位移台固定连接，所述步进电机模块与所述XY位移台连接，所述计算机设置于所述XY位移台的外侧，所述压电驱动模块与所述计算机电性连接；

所述步进电机模块包括第一步进电机、第二步进电机、第一光栅编码器、第二光栅编码器和步进电机控制盒，所述第一步进电机贯穿所述XY位移台，所述第一光栅编码器和所述第二光栅编码器设置于所述XY位移台的内部，所述第二步进电机设置于所述XY位移台的外侧，所述步进电机控制盒设置于所述XY位移台外侧。

2.如权利要求1所述的液氦制冷平台的高精度位移控制装置，其特征在于，

所述压电驱动模块包括第一压电促动器、压电驱动器和第二压电促动器，所述第一压电促动器设置于所述XY位移台的内部，所述第二压电促动器设置于所述XY位移台的外侧，所述第一压电促动器和所述第二压电促动器分别与所述压电驱动器电性连接。

3.如权利要求2所述的液氦制冷平台的高精度位移控制装置，其特征在于，

所述第一压电促动器和所述第二压电促动器均由所述压电驱动器驱动，所述压电驱动器读取所述第一压电促动器和所述第二压电促动器的反馈电压，并根据反馈电压自动调整输出。

4.如权利要求1所述的液氦制冷平台的高精度位移控制装置，其特征在于，

所述液氦制冷平台的高精度位移控制装置还包括运动控制卡，所述运动控制卡与所述计算机电性连接。

5.如权利要求4所述的液氦制冷平台的高精度位移控制装置，其特征在于，

所述运动控制卡接收所述第一光栅编码器和所述第二光栅编码器的反馈信号，所述运动控制卡通过USB线缆与所述计算机通信。