[发明专利]一种用于在沉积过程中制备锥形疏松体的装置及方法在审
| 申请号： | 202211669363.5 | 申请日： | 2022-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN115849701A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 赵辉 | 申请（专利权）人： | 藤仓烽火光电材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 彭程程 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于在沉积过程中制备锥形疏松体的装置及方法，涉及光纤预制棒制造技术领域，一方面，该装置包括卡盘和排气组件，两个间隔设置的卡盘，分别用于与靶棒的两端连接，以转动靶棒；排气组件用于在靶棒沉积过程中抽排气体以使靶棒的端部在沉积过程中形成锥形部。另一方面，该方法利用装置实施，包括以下步骤：将靶棒安装至两个卡盘之间，转动所述卡盘对靶棒进行沉积；在所述靶棒沉积过程中，基于直径压力标定数据，根据沉积形成疏松体的直径，控制排气组件的抽排气压力，以在所述靶棒沉积后形成具有锥形部的疏松体。通过设置排气组件，利用抽排时的吸力以形成锥形部，避免了后续加工可能引入的杂质污染，影响后续光纤特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 沉积 过程 制备 锥形 疏松 装置 方法 | ||
【主权项】：
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