[发明专利]基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置在审
| 申请号： | 202211659327.0 | 申请日： | 2022-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN116129427A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 东方晶源微电子科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G06V20/69 | 分类号： | G06V20/69;G06V30/18;G06V30/19;G06V30/422 |
| 代理公司： | 北京汇知杰知识产权代理有限公司 11587 | 代理人： | 张奎;杨彦鸿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；基于扫描电子显微镜图像对第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；将第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果；基于对准结果对第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；提取第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。本申请能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精细度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 设计 版图 扫描 电子显微镜 图像 轮廓 提取 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东方晶源微电子科技（北京）有限公司，未经东方晶源微电子科技（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211659327.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
