[发明专利]基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置

权利要求书

1.一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述方法包括：

在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取所述扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓；

基于所述扫描电子显微镜图像对所述第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第二扫描电子显微镜图像轮廓；

将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果；

基于所述对准结果对所述第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓；

提取所述第三扫描电子显微镜图像轮廓的轮廓信息。

2.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述基于所述对准结果对所述第二扫描电子显微镜图像轮廓进行调整，生成第三扫描电子显微镜图像轮廓，包括：

基于所述对准结果对所述第二扫描电子显微镜图像轮廓中的图形线条信息进行调整，生成所述第三扫描电子显微镜图像轮廓；其中，所述图形线条信息包括所述图形线条与所述第二扫描电子显微镜图像的间隔、所述图形线条的宽度中的至少一项。

3.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，在所述将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果之后，所述方法还包括：

基于所述对准结果进行电子束缺陷检测，得到缺陷检测结果。

4.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，在所述将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果之后，所述方法还包括：

基于所述对准结果进行自动量测，得到自动量测结果。

5.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述在采集到待检测区域的扫描电子显微镜图像的情况下，提取所述扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓，包括：

在采集到所述待检测区域的所述扫描电子显微镜图像的情况下，提取所述扫描电子显微镜图像的亚像素级别的所述第一扫描电子显微镜图像轮廓。

6.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图对准，生成对准结果，包括：

将所述第二扫描电子显微镜图像轮廓转化为与设计版图格式相同的所述第二扫描电子显微镜图像轮廓；

将转化后的所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果。

7.根据权利要求6所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述将转化后的所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的原始设计版图进行对准，得到对准结果，包括：

将转化后的所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与预设的所述原始设计版图进行对准，并基于预设的图形相似度指标，获取所述对准结果；其中，所述图形相似度指标用于表征所述第二扫描电子显微镜图像轮廓与所述设计版图之间的对准程度。

8.根据权利要求6所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述设计版图为GDSII流格式的所述设计版图。

9.根据权利要求3所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像轮廓提取方法，其特征在于，所述基于所述对准结果进行电子束缺陷检测，得到缺陷检测结果，包括：

基于所述对准结果对所述设计版图的不同层的电子束缺陷进行检测，得到所述缺陷检测结果；其中，所述不同层至少包括：层与层之间的连接层、金属层以及多晶硅层中至少一项。