[发明专利]一种氧化铟基MEMS丙酮气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211657404.9 | 申请日： | 2022-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN116381212A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 荣钱;杨正;刘小龙;童颜;马宏 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01N33/497 | 分类号： | G01N33/497;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京子焱知识产权代理事务所(普通合伙) 11932 | 代理人： | 汤玉辉 |
| 地址： | 510000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化铟基MEMS丙酮气体传感器及其制备方法，包括：包括封装底座，其特征在于，所述封装底座的上端固定连接有保护壳，所述封装底座的内侧开设有安装槽，所述安装槽的内侧安装有敏感芯片，所述安装槽的上端安装有防水透气膜，所述保护壳的上端开设有透气孔；敏感材料制备：通过铂金双金属掺杂合成稳定的氧化铟纳米材料；敏感芯片制备：将敏感材料制备成浆料并加载到MEMS微加热芯片上形成敏感核心；传感器制备：制备抗干扰过滤层，并对芯片进行封装形成气体传感器；本发明的优点在于：所制备传感器通过高锰酸钾处理的防水透气膜提高了传感器对丙酮气体具备良好的选择性，对人体呼出的其他气体基本无响应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 mems 丙酮 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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