[发明专利]一种采用多振子耦合的微机械谐振器在审
| 申请号： | 202211640819.5 | 申请日： | 2022-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN115967367A | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 郭中洋 | 申请（专利权）人： | 安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/205 | 分类号： | H03H9/205;H03H9/24;H03H9/05;H03H9/02 |
| 代理公司： | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人： | 王琪;陆淑贤 |
| 地址： | 233042*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种采用多振子耦合的微机械谐振器，包括至少一组振子、每组振子对应四组驱动/检测电极、一组耦合梁、一组支撑梁和一个锚点，振子、驱动/检测电极、耦合梁、支撑梁和锚点相对于谐振器中心对称分布，振子与耦合梁相连，耦合梁与支撑梁相连，支撑梁与锚点相连，振子、耦合梁、支撑梁、锚点共同组成框架结构，驱动/检测电极位于振子上面、振子内部和/或振子外部。本发明采用多个振子，且各振子之间相互耦合，可以利用其中一个或多个振子进行驱动，剩余的振子进行检测，实现驱动电极和检测电极在空间上隔离，降低驱动信号到检测端的耦合；采用驱动振子和检测振子分开，便于使用差分的方式对振子进行驱动或检测，提高谐振器抗干扰能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 多振子 耦合 微机 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司，未经安徽芯动联科微系统股份有限公司;北京芯动致远微电子技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211640819.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
