[发明专利]一种基于双孔GST相变材料微型光开关单元及设计方法在审
申请号: | 202211638784.1 | 申请日: | 2022-12-20 |
公开(公告)号: | CN116009284A | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 王海涛;张磊;储涛 | 申请(专利权)人: | 之江实验室 |
主分类号: | G02F1/01 | 分类号: | G02F1/01;G02B27/00 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人: | 戴莉 |
地址: | 311121 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于双孔GST相变材料微型光开关单元及设计方法,包括衬底层,所述衬底层上表面设有导波层和相变材料结构,所述导波层为直平板slot波导,所述相变材料结构为双孔结构,且位于所述直平板slot波导结构中间,所述双孔结构内镶嵌有圆柱状的GST相变材料,所述衬底层、导波层和GST相变材料外表面包裹有保护层。通过设计出直平板slot波导和GST相变材料的混合集成,将GST相变材料镶嵌于直平板slot波导,通过GST相变材料的相态可对横电基模完成双通道选择输入和双路选通、模式切换的功能,具有高消光比、尺寸小、切换速率快的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 gst 相变 材料 微型 开关 单元 设计 方法 | ||
【主权项】:
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