[发明专利]一种工件镀膜和高温渗氘气设备及工艺在审
| 申请号： | 202211638269.3 | 申请日： | 2022-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN115747743A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 张心凤;夏正卫;刘洋;汪鹏 | 申请（专利权）人： | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C8/08 |
| 代理公司： | 合肥九道和专利代理事务所(特殊普通合伙) 34154 | 代理人： | 鲍文娟 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种工件镀膜和高温渗氘气设备，包括镀膜腔体、渗氘腔体、转料装置，镀膜腔体为工件的镀膜处理提供场所，镀膜腔体与镀膜装置相连接，渗氘腔体为工件的渗氘处理提供场所，渗氘腔体与渗氘装置相连接，镀膜腔体和渗氘腔体之间设置有供工件移送的转送通道，转送通道上设置有调节装置，调节装置用于调整转送通道的通闭状态，转料装置用于实现工件在镀膜腔体和渗氘腔体之间的移送。本发明提供的上述方案，可以在一台设备上实现对工件的镀膜处理和渗氘处理，解决膜层污染问题和提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 镀膜 高温 渗氘气 设备 工艺 | ||
【主权项】：
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