[发明专利]一种工件镀膜和高温渗氘气设备及工艺

权利要求书

1.一种工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：包括镀膜腔体、渗氘腔体、转料装置，镀膜腔体为工件的镀膜处理提供场所，镀膜腔体与镀膜装置相连接，渗氘腔体为工件的渗氘处理提供场所，渗氘腔体与渗氘装置相连接，镀膜腔体和渗氘腔体之间设置有供工件移送的转送通道，转送通道上设置有调节装置，调节装置用于调整转送通道的通闭状态，转料装置用于实现工件在镀膜腔体和渗氘腔体之间的移送。

2.根据权利要求1所述的工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：还包括载具，工件装配在载具上，转料装置用于实现载具在镀膜腔体和渗氘腔体之间的移动。

3.根据权利要求1或2所述的工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：转送通道呈直线状，记转送通道的长度方向为A方向，移料装置沿A方向移动工件实现工件在镀膜腔体和渗氘腔体之间的移送。

4.根据权利要求3所述的工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：载具上设置有装配槽，转料装置包括横状布置的U型的转料叉，转料叉沿A方向活动安装，转料叉插入装配槽内与载具进行装配。

5.根据权利要求3所述的工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：镀膜腔体上设置有沿A方向布置的装配套，装配套内设置有推杆，推杆沿A方向与密封装配套滑动且密封装配，推杆延伸至镀膜腔体内的端部用于安装转料装置，推杆延伸至装配套外侧的另一端与驱动推杆沿A方向移动的驱动机构相连接。

6.根据权利要求3所述的工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：调节装置包括转送通道上设置的插板阀。

7.根据权利要求3或4所述的工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：镀膜装置为真空磁控溅射镀膜装置。

8.根据权利要求7所述的工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：镀膜腔体内设置有镀膜载物台，镀膜载物台转动和升降式安装，镀膜载物台上设置有镀膜加热组件，镀膜载物台与偏压组件相连接，镀膜腔室上还设置有对工件进行清洗的离子束清洗装置。

9.根据权利要求7所述的工件镀膜和高温渗氘气设备，其特征在于：渗氘腔体内设置有渗氘载物台，渗氘载物台升降式安装，渗氘载物台上设置有渗氘加热组件。

10.一种工件镀膜和高温渗氘气的工艺，其特征在于，包括如下操作：将工件和载具布置在镀膜腔室内的镀膜载物台上，关闭插板阀调整转送通道处于关闭状态，调节镀膜载物台自转和启动镀膜加热组件，工件加热到设定温度后，打开离子束清洗装置对工件的表面进行清洗处理，清洗处理后，启动偏压装置对工件施加偏压以及打开镀膜装置对工件进行镀膜处理，镀膜处理结束后，打开插板阀调整转送通道处于连通状态，调整转料装置平移与静置状态的镀膜载物台上的载具进行装配，随后调整镀膜载物台下行至低位使得载具和镀膜载物台分离，调整转料装置继续移动，将载具移至渗氘腔体内渗氘载物台的上侧，调整渗氘载物台由低位上行至高位对载具进行撑托，载具被渗氘载物台撑托后，转料装置回缩至镀膜腔体内，关闭插板阀调整转送通道处于关闭状态，工件被渗氘加热组件加热，加热到设置的温度后，开始往渗氘腔体充入氘气，渗氘腔体内部的气压达到2个大气压后，停止充氘气和加热，让工件自然冷却至室温，将氘气渗入工件膜层表面。