[发明专利]一种层间耦合器、一种制备层间耦合器的方法在审

专利信息
申请号: 202211627632.1 申请日: 2022-12-16
公开(公告)号: CN115826134A 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 张瑾;王敬好;王震;张潜;胡辰;李佳;张萌徕;储涛 申请(专利权)人: 之江实验室
主分类号: G02B6/12 分类号: G02B6/12;G02B6/132
代理公司: 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 代理人: 王剑
地址: 311121 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本说明书公开了一种层间耦合器、一种制备层间耦合器的方法。首先,层间耦合器包括:硅衬底、二氧化硅包层、硅波导层、氮化硅层。硅长方体位于层间耦合器的一端,混合结构与硅长方体相连接,混合结构由硅锥体以及相同尺寸的各硅波导块排列组成,亚波长光栅结构与混合结构相连接,亚波长光栅结构由不同尺寸的各硅波导块排列组成,且远离硅长方体的硅波导块的尺寸小于靠近硅长方体的硅波导块的尺寸,氮化硅层包括氮化硅长方体以及氮化硅结构,氮化硅长方体位于层间耦合器的另一端,氮化硅结构与氮化硅长方体相连接,氮化硅结构中的远离氮化硅长方体的横截面积小于靠近氮化硅长方体的横截面积。本方法可以降低功率泄露,从而,提高耦合效率。
搜索关键词: 一种 耦合器 制备 方法
【主权项】:
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