[发明专利]一种氧化铟锌靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202211616872.1 | 申请日： | 2022-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN116162908A | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 顾德盛;邵学亮;王奇峰 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/01;C04B35/622 |
| 代理公司： | 清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人： | 龚元元 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于光电材料制备技术领域，公开了一种氧化铟锌靶材及其制备方法。所述氧化铟锌靶材由氧化铟和氧化锌组成，靶材中Zn与In的原子比为Zn/(Zn+In)＝18％～50％。所述制备方法为：将分散剂、氧化锌粉末和氧化铟粉末以及粘结剂加入到水中，搅拌分散均匀后经过湿法研磨，得到混合浆料；将所得混合浆料通过喷雾造粒，得到IZO粉末，然后经过干压和冷等静压后进行烧结，得到氧化铟锌靶材。本发明的IZO靶材具有高比例的ZnO加入量，并能够达到较高的致密度和导电性，可显著减少金属铟的使用量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 铟锌靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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