[发明专利]一种氧化铟钼镨靶材及其制备方法

摘要

本申请涉及金属氧化物靶材制造领域，公开了一种氧化铟钼镨靶材的制备方法，包括以下步骤将In2O3粉末、MoO3粉末、Pr6O11粉末、分散剂混合并分散，分散后加入粘结剂混合，一起经湿法球磨得到浆料；将所得浆料进行喷雾造粒，喷雾造粒后得到细粉与粗粉，将细粉与粗粉按一定比例混料后，得氧化铟钼镨靶材前驱体；将步骤2前驱体装入模具中进行真空成型，得到氧化铟钼镨素胚；将氧化铟钼镨素胚进行烧结，即得高密度的氧化铟钼镨靶材；本申请通过将大粒径的粗粉与小粒径的细粉混合，以制备出具有高致密度的氧化铟钼镨靶材，同时，我们惊奇地发现，当特定的粒径下，以特定的粗细粉比例制备出的氧化铟钼镨在具有较高成型率的同时又具有更加优异的致密度。