[发明专利]基于4D STEM图像序列的三维重构方法和装置

摘要

本发明公开了基于4D STEM图像序列的三维重构方法和装置，涉及电镜三维重构技术领域。该方法具体实施方式包括：在扫描透射成像模式，对包含样品的实空间进行会聚电子束扫描；收集设定范围内的不同散焦深度的多组CBED图像数据，N1：利用确定出的不同散焦深度的层间距、会聚电子束的会聚角和不同探针位置收集到的属于同一散焦深度的CBED图像数据，获取不同散焦的图层图像；N2：利用不同散焦的图层图像构建样品的当前三维结构，并对当前三维结构进行评估，在评估结果指示满足预设收敛条件的情况下，确定当前三维结构为样品三维结构；否则，调整散焦深度的层间距，并执行步骤N1。该实施方式有效地提高重构的三维结构的准确性。