[发明专利]纳米悬臂梁及其制备工艺在审
| 申请号： | 202211611871.8 | 申请日： | 2022-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN115611232A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 崔开宇;黄翊东;张巍;冯雪;刘仿 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张璐 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区双清路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片，具体涉及一种纳米悬臂梁及其制备工艺。纳米悬臂梁的制备工艺，采用湿法刻蚀工艺，包括：将完成湿法刻蚀的芯片放入去离子水中停止反应；从去离子水中取出所述芯片后，立即放入第一溶剂中进行过渡；然后将所述芯片晾干；即可得到纳米悬臂梁；所述第一溶剂选自无水乙醇、甲醇、1‑丙醇、1‑丁醇中的一种或几种。本发明工艺避免了悬臂梁结构的坍塌，成功实现光声晶体微腔的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 悬臂梁 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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