[发明专利]一种栅极可调高灵敏偏振探测器的制备方法

摘要

本发明公开了一种栅极可调高灵敏偏振探测器的制备方法，包括衬底、第一金属电极、PdSe2/WSe2二维范德华异质结、石墨烯层、第二金属电极；所述的衬底为SiO2/Si衬底；所述的PdSe2/WSe2二维范德华异质结包括PdSe2层、WSe2层；所述的PdSe2层底面设于衬底顶面上；所述的WSe2层底面设有台阶，所述的WSe2层底面分别设于衬底顶面、PdSe2层顶面上；所述的石墨烯层底面设有台阶，所述的石墨烯层底面分别设于衬底顶面、WSe2层顶面上；所述的第一金属电极底面设于PdSe2层顶面上，所述的第一金属电极与WSe2层不接触；所述的第二金属电极底面设于石墨烯层顶面上。本发明成本低廉、工艺简单，通过范德华异质结和栅极调控，有效地抑制了暗电流，大大提高了光灵敏度和响应速度。