[发明专利]蓝膜分离取晶装置有效
| 申请号: | 202211590991.4 | 申请日: | 2022-12-12 |
| 公开(公告)号: | CN115605013B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
| 发明(设计)人: | 乔丽;王贵森;肖勇 | 申请(专利权)人: | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) |
| 主分类号: | H05K13/02 | 分类号: | H05K13/02;H05K13/04 |
| 代理公司: | 太原智慧管家知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14114 | 代理人: | 马俊平 |
| 地址: | 030024 山西*** | 国省代码: | 山西;14 |
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| 摘要: | 本发明公开了蓝膜分离取晶装置,包括,蓝膜运动部件,蓝膜运动部件包括蓝膜/华夫盒固定件、X向模组和Y向模组,蓝膜/华夫盒固定件设置在Y向模组上,蓝膜/华夫盒固定件上开设有圆形通孔,蓝膜/华夫盒固定件底部设有负压阀安装孔,载有物料的蓝膜固定在圆形通孔上,Y向模组设置在X向模组上;顶针组件,顶针组件设置在圆形通孔的下方,顶针组件包括顶针底板,顶针底板上设有XY向滑台,XY向滑台上设有用于驱动顶针夹组件沿Z轴方向运动的二级滑动机构,二级滑动机构上设有用于驱动顶针夹组件中的套筒沿Z轴方向运动的电机驱动组件,顶针夹组件用于刺破蓝膜将其与物料分离。本发明能够在保证拾取成功率的前提下有效减少对芯片的损伤。 | ||
| 搜索关键词: | 分离 装置 | ||
【主权项】:
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