[发明专利]蓝膜分离取晶装置

权利要求书

1.蓝膜分离取晶装置，其特征在于：包括，

蓝膜运动部件，所述蓝膜运动部件包括蓝膜/华夫盒固定件、X向模组和Y向模组，所述蓝膜/华夫盒固定件设置在所述Y向模组上，所述蓝膜/华夫盒固定件上开设有圆形通孔，所述蓝膜/华夫盒固定件底部设置有负压阀安装孔，载有物料的蓝膜固定在所述圆形通孔上，所述Y向模组设置在所述X向模组上，用于驱动所述蓝膜/华夫盒固定件沿Y轴方向运动，所述X向模组用于驱动所述蓝膜/华夫盒固定件沿X轴方向运动；

顶针组件，所述顶针组件设置在圆形通孔的下方，所述顶针组件包括顶针底板，所述顶针底板上设置有XY向滑台，所述XY向滑台上设有用于驱动顶针夹组件沿Z轴方向运动的二级滑动机构，所述二级滑动机构上设有用于驱动顶针夹组件中的套筒沿Z轴方向运动的电机驱动组件，所述顶针夹组件用于刺破蓝膜将其与物料分离；

所述二级滑动机构包括设置在XY向滑台上的底座转接板，所述底座转接板上垂直固定有滑动底座，所述滑动底座上沿Z轴方向设置有气缸驱动组件和第一交叉滚珠导轨，所述第一交叉滚珠导轨内滑动设置有二级滑动底板，所述二级滑动底板上沿Z轴方向设置有第二交叉滚珠导轨，所述第二交叉滚珠导轨内设置有拨杆，所述二级滑动底板上设置有套筒顶出连板，所述套筒顶出连板的顶部设置有主轴安装座，所述主轴安装座上固定有主轴锁紧夹，所述主轴安装座的顶部设置有主轴安装基座，所述主轴安装基座上固定有套筒锁紧夹，所述气缸驱动组件的输出端与主轴安装基座连接，通过气缸驱动组件可带动二级滑动底板沿Z轴方向移动；

所述顶针夹组件包括套筒、主轴、顶针和套筒盖，所述主轴的下端设置在所述主轴锁紧夹内，所述套筒套设在所述主轴上，所述套筒的下端设置在所述套筒锁紧夹内且与拨杆固定连接，所述主轴的顶部设有夹持头，所述顶针的下端通过锁环固定在所述夹持头内，所述套筒盖设置在所述套筒上，所述套筒盖上设置有供顶针穿出的顶针孔，通过气缸驱动组件可驱动套筒沿Z轴方向运动，随着套筒的下移，顶针会逐渐外露且刺破蓝膜将其与物料分离。

2.根据权利要求1所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述X向模组包括晶圆底板，所述晶圆底板上设有X向导轨，所述晶圆底板上位于X向导轨的Y轴方向的两侧固定有晶圆立板，所述X向导轨的一端设置有X向驱动电机，所述X向导轨上滑动设置有X向滑座，所述X向滑座上固定有模组连接板，所述模组连接板上固定有Y向模组，通过X向驱动电机驱动X向滑座连同模组连接板一起沿X向导轨直线移动，进而可以驱动Y向模组沿X向导轨直线移动。

3.根据权利要求1所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述Y向模组包括Y向导轨，所述Y向导轨设置在X向模组上，所述Y向导轨的一端设置有Y向驱动电机，所述Y向导轨上滑动安装有Y向滑座，所述Y向滑座固定有蓝膜/华夫盒固定件，所述Y向导轨的一侧设置有拖链，所述拖链与固定在蓝膜/华夫盒固定件上的拖链固定件相连。

4.根据权利要求1所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述X向模组和所述Y向模组上均设有传感器，所述传感器通过传感器安装片固定在X向模组/Y向模组上，所述传感器包括固定在X向模组上的X向正限位传感器、X向负限位传感器、X向原点传感器，和固定在Y向模组上的Y向正限位传感器、Y向负限位传感器、Y向原点传感器。

5.根据权利要求1所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述气缸驱动组件包括气缸和与气缸连接的气缸电磁阀，所述气缸电磁阀固定在所述顶针底板上，所述气缸通过气缸安装板固定在所述滑动底座上，气缸的输出端通过气缸头环连接有气缸推板，所述气缸推板与所述主轴安装基座连接。

6.根据权利要求5所述的蓝膜分离取晶装置，其特征在于：所述滑动底座上固定有限位螺钉安装座，所述二级滑动底板上固定有气缸轴限位块，所述限位螺钉安装座内活动设置有限位螺钉，且所述限位螺钉的下端与所述气缸轴限位块固定连接。