[发明专利]一种自驱动偏振敏感探测器及制备方法

摘要

本发明公开一种自驱动偏振敏感探测器，包括：衬底；InSe层和1T’‑MoTe2层，所述InSe层和1T’‑MoTe2层分别设置在所述衬底上并将部分1T’‑MoTe2层转移至所述InSe层上，使得InSe层与1T’‑MoTe2层构成异质结；第一电极及第二电极，所述InSe层上设有第一电极，所述1T’‑MoTe2层设有第二电极。本发明选用零带隙、导电性好、具有各向异性的1T’‑MoTe2单晶和低暗电流、迁移率高的InSe单晶搭建异质结，构成具有肖特基势垒的金半接触，利用InSe单晶和1T’‑MoTe2单晶的接触电势差收集传输载流子。同时，1T’‑MoTe2单晶的各向异性使得探测器具有偏振性能，对于不同方向的偏振光吸收不同。