[发明专利]光掩模版边缘清洗设备用平行定位装置

摘要

本发明涉及一种光掩模版边缘清洗设备用平行定位装置，包括安装架、两个滑动测距机构、条形喷嘴和转动驱动机构；两个滑动测距机构位于所述安装架两侧，包括滑配在所述安装架上的滑动件和安装在所述滑动件上并用于测量其与校准件之间的距离的测距传感器；条形喷嘴的中间位置转动安装在所述安装架上，每个端部通过一个联动机构连接一个滑动件，所述条形喷嘴在转动的过程中通过所述联动机构带动滑动件滑动；转动驱动机构安装在所述安装架和所述条形喷嘴之间，用于驱动所述条形喷嘴转动至使两个测距传感器测得的距离相等的位置。本发明可以很方便地对条形喷嘴进行平行定位。