[发明专利]一种管式CVD设备的进抽气系统

摘要

本申请涉及光伏电池制造设备的领域，尤其是涉及一种管式CVD设备的进抽气系统，包括连通于管式炉且用于送入反应气体的进气管和用于抽出反应产物的抽气管，进气管位于管式炉中一端连通有分布管，分布管开口长度方向和石墨舟长度方向相一致，分布管沿自身宽度方向设置数个，分布管的出气口朝向于石墨舟上部，抽气管进气口位于分布管出气口的上方，使得各个分布管能够朝向石墨舟各处较为均匀的进行送气，提升石墨舟上各处的硅片和反应气体之间充分接触以进行均匀的非晶硅薄膜沉积。