[发明专利]一种铝合金超高洁净度化学清洗的方法在审
| 申请号： | 202211567320.6 | 申请日： | 2022-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN116695129A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 佟毅;崔鑫;徐宏岩;秦洪达 | 申请（专利权）人： | 北京富创精密半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/12 | 分类号： | C23G1/12;C23F1/20;B08B3/02;B08B3/12 |
| 代理公司： | 沈阳中科博诚专利代理事务所(特殊普通合伙) 21275 | 代理人： | 郑瑶 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
一种铝合金超高洁净度化学清洗的方法，属于IC超高洁净度清洗领域，通过该清洗方法，可有效的保证零件表面达到半导体高洁净度的使用要求。清洗后零件表面的痕量金属污染物通过ICP‑MS检测结果表明，对IC设备最为敏感的铜离子含量小于10E10atoms/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 铝合金 超高 洁净 化学 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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- 本发明公开了一种不含氨氮的铝合金环保除垢液及其制备方法，包括固体除垢剂和双氧水。固体除垢剂，其按质量百分比计算，包括固体酸源1‑60％、氟离子源1‑60％、络合剂1‑50％。固体酸源中不含铵盐、不含硝酸盐和不含氮元素的无机盐；氟离子源中不含氟化铵、不含氟化氢铵和不含氮元素的氟化物；络合剂不含羧酸铵盐、不含氮元素的有机络合剂。固体除垢剂和双氧水配制成铝合金环保除垢液，每一升的铝合金环保除垢液中，固体除垢剂的含量是80‑120克/升，双氧水的含量是200‑400毫升/升，其余为纯水。本发明铝合金环保除垢液的配方中，不含任何氨氮化合物，因此，本发明铝合金环保除垢液不产生含氨氮化合物的废水，适用于有含氨氮排放限制的工业园区的废水排放要求。
- 一种铝表面处理除灰中和剂及其制备方法-202210977852.0
- 李海生;叶献远;洪永扣 - 安徽韩铝环保新材料有限公司
- 2022-08-16 - 2022-12-13 - C23G1/12
- 本发明涉及一种铝表面处理除灰中和剂及其制备方法。一种铝表面处理除灰中和剂，所述除灰中和剂由100重量份的纯水、20‑40重量份的硫酸、20‑40重量份的甘醇、0.1‑2重量份的铋酸钠、0.001‑0.1重量份的聚乙烯吡咯烷酮组成。本产品为透明液体，专门用于去除因碱蚀或化学抛光等处理后在铝合金表面形成的污渍、黑膜、铜、锌等。是铝合金阳极氧化的优秀处理药剂，同时可提高铝合金的染色亲合性。
- 一种铝及其合金器件的清洁及再生方法-202110513399.3
- 吉本光宇;权秀娟 - 爱极宝电子工业设备（广州）有限公司
- 2021-05-11 - 2022-12-09 - C23G1/12
- 本发明涉及铝及其合金器件表面清洁和再生技术领域，具体涉及一种铝及其合金器件的清洁及再生方法，包括步骤：碱洗，酸洗，电解清洗工序。本发明对铝及其合金器件的清洗再生方法可以用于所有铝及其合金器件的清洗和再生，尤其是LCD，OLED及半导体产品制造装置的具有凹槽、通孔等微结构的铝及其合金器件。本发明通过对其他程序的优化，取代了现有技术的喷砂处理，避免了喷砂处理给产品的精细结构(如凹槽和通孔)带来的结构变形和孔径扩大的问题，从而延长产品的使用寿命。而且可以解决对产品预处理后细孔中残留颗粒和粉尘的问题，减少因砂粒和粉尘的返工率；确保产品的清洗再生质量；同时大大缩短了整个清洁修复过程的时间。
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