[发明专利]一种钨钛溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202211546039.4 | 申请日： | 2022-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN115725944A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 朱伟 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C27/04;B22F3/14;B22F3/24 |
| 代理公司： | 苏州企知鹰知识产权代理事务所(普通合伙) 32420 | 代理人： | 薛芳芳 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钨钛溅射靶材的制备方法，涉及靶材制备领域，其包括：1)将质量份数为90的纯度≥4N的钨粉、质量份数1‑5的纯度≥3N5的钛粉、质量份数为5‑10.4的纯度≥3N5的氢化钛粉末加入到行星球磨罐内进行球磨；2)对球磨的粉末进行过筛处理，再进行真空干燥；3)将干燥后的粉末装入热压石墨模具中；4)将石墨模具置于真空热压炉的压头正下方，并对模具进行预压0.5Mpa‑2MPa，设定烧结参数进行烧结，然后将模具取出进行脱模操作；5)放入真空退火炉中进行真空退火，退火完成后对钨钛毛坯进行各种机加工至所需产品要求。本发明的制备方法能够制备密度高、晶粒细的钨钛溅射靶材，工艺简单效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
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