[发明专利]一种真空手指与吸盘无胶粘连接机构

摘要

本发明属于用于晶圆制造的真空传送手指领域，具体地说是一种真空手指与吸盘无胶粘连接机构，包括真空手指及若干个吸盘，真空手指分为机器人手臂连接部及吸盘安装部，吸盘安装部上开设有若干个吸盘安装孔，每个吸盘分别对应卡接于一个吸盘安装孔处。本发明通过真空手指与吸盘之间采用的多处过盈配合的卡接结构，使真空手指与手指吸盘依靠自身结构的特征进行连接，形成可靠的水平与竖直限位，解决了因胶水失效导致翘曲晶圆在传送过程中掉片，保证了机台的运行稳定性，且避免晶圆在工艺过程中受到污染，可以运用在高洁净度等级要求的前后端制程工艺，更加容易更换，并且不容易失效。