[发明专利]基板检查单元及包括其的基板处理装置在审
| 申请号： | 202211540001.6 | 申请日： | 2022-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN116403000A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 柳志勳;金光燮;李锺民;宋延彻;吴埈昊;朴永镐;林名俊 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G06V10/40 | 分类号： | G06V10/40;G01N21/88;B41J3/407;B41J2/01;B41J29/00;G06V10/762;G06V10/764;G06V10/77;G06V10/774;G06V10/82;G06N3/096;G06N3/088 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够通过对训练图像数据集的验证以及半自动图像标记来减少图像数据标记作业时间，同时提高对数据集的分类准确度从而提高预测性能的基板检查单元及包括其的基板处理装置。所述基板检查单元包括：特征提取模块，在与基板的图像数据相关的多个训练数据根据既定义的类别被分类的情况下，从包括在每个类别中的训练数据中提取特征；有效性评价模块，评价特征的有效性；类别验证模块，验证既定义的类别；以及数据重构模块，基于被判断为具有有效性的特征和被验证的类别来重构多个训练数据，其中，在检查基板时使用重构的训练数据。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 单元 包括 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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