[发明专利]硅烯复合薄膜及其制备方法、电极及锂离子电池有效
| 申请号： | 202211538851.2 | 申请日： | 2022-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN115537727B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 易典;王荣福 | 申请（专利权）人： | 深圳市汉嵙新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;H01M4/136;H01M4/587;H01M4/62;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 杜寒宇 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市光明新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种硅烯复合薄膜及其制备方法、电极及锂离子电池。该硅烯复合薄膜的制备方法包括如下步骤：提供碳基底层；在碳基底层上重复多次制备硅烯层的步骤和重复多次制备碳引导层的步骤；其中，制备硅烯层的步骤和制备碳引导层的步骤交替进行；制备硅烯层的步骤包括：通过磁控溅射的方式溅射硅原子以形成硅烯层，制备碳引导层的步骤包括：通过磁控溅射的方式溅射碳原子以形成碳引导层。磁控溅射的方式适合于在工业上大规模制备硅烯薄膜，相较于传统技术中的分子束外延法、化学气相沉积法等能够显著提高制备效率、降低制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 薄膜 及其 制备 方法 电极 锂离子电池 | ||
【主权项】：
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