[发明专利]一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置有效
| 申请号： | 202211517567.7 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN115902113B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 罗浩;张琛;肖珏英;张家铭;陈碧灵 | 申请（专利权）人： | 福建省巨颖高能新材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 11642 | 代理人： | 郭红燕 |
| 地址： | 364204 福建省龙岩*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及氟气制备技术领域，且公开了一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，包括管道，所述管道一端设置有输送器，所述管道同一水平面上设置有抽样检测组件、气体转移组件，随着圆盘的转动，抽样柱腔体会间接被连接杆向外扩仓内腔的方向拉动，直至长口完全位于外扩仓内腔中，此时抽样柱腔体位于管道内腔的一端因没有长口的存在，气体便不会再次进入到抽样柱腔体内腔中，此时外扩仓中设置的气体检测设备便会对由抽样柱腔体转移到外扩仓中的气体进行检测，以此确定被输送器输送的气体中是否存在杂质，这种将检测气体转移到外扩仓中，进行稳定检测的方式区别于现有的气体在管道输送中流速相对较快不能稳定检测的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子 氟气 制备 气体 杂质 检测 装置 | ||
【主权项】：
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