[发明专利]一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置

权利要求书

1.一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，其特征在于：包括管道（1），所述管道（1）一端设置有输送器（2），管道（1）同一水平面上设置有抽样检测组件（3）、气体转移组件（5），抽样检测组件（3）一侧设置有控制器（4）；

其中，抽样检测组件（3）包括有外扩仓（301），外扩仓（301）固定连接在管道（1）外表面，外扩仓（301）内腔中固定连接有支撑架（302），支撑架（302）上转动连接有转轴（303），转轴（303）由驱动电机驱动，转轴（303）上设置有圆盘（304），圆盘（304）上固定连接有柱块（305），柱块（305）设置在圆盘（304）偏轴心位置，圆盘（304）一侧设置有竖槽体（306），竖槽体（306）和柱块（305）配合使用，柱块（305）滑动连接在竖槽体（306）中，竖槽体（306）一侧固定连接有连接杆（307），连接杆（307）远离竖槽体（306）的一端固定连接有抽样柱腔体（308），抽样柱腔体（308）能在管道（1）上滑动，抽样柱腔体（308）上开设有长口（309），长口（309）开设在抽样柱腔体（308）中间部位，抽样柱腔体（308）两端均有余留，并未完全被长口（309）贯通，外扩仓（301）内腔中设置有气体检测设备（310）；

管道（1）外表面上方设置有第一驱动螺杆（501），第一驱动螺杆（501）下方且位于管道（1）上固定连接有滑动轨道（502），第一驱动螺杆（501）上螺纹连接有电磁铁A（503），电磁铁A（503）能在滑动轨道502上滑动，管道（1）内腔中滑动连接有辅助盘（504），辅助盘（504）上开设有贯通的通气方口（505），通气方口（505）上方且位于辅助盘（504）上挖设有工作槽口（506），工作槽口（506）内设置有弹簧（507），弹簧（507）底端固定连接有第一封堵块（508），第一封堵块（508）能在工作槽口（506）中进行上下滑动，第一封堵块（508）下方且位于辅助盘（504）中固定连接有第二封堵块（512）；第一封堵块（508）上表面设置有磁石（509），磁石（509）能与通电的电磁铁A（503）相吸附，管道（1）外表面下方设置有第二驱动螺杆（510），当第二驱动螺杆（510）通过通电的电磁铁B（511）对第二封堵块（512）吸附时，移动的电磁铁B（511）会通过第二封堵块（512）带着辅助盘（504）在管道（1）中移动，第二驱动螺杆（510）上螺纹连接有电磁铁B（511），电磁铁B（511）上设置有导向辅助轨道，第二封堵块（512）能与通电的电磁铁B（511）相互吸附，管道（1）靠近输送器（2）一端的侧面固定连接有临时转移仓（513），临时转移仓（513）上设置有转移气体时用到的堵块，当转移含有杂质的气体时将该堵块打开即可进行后续工作，管道（1）上且位于临时转移仓（513）同一水平面上设置有通孔（514）。