[发明专利]一种清洁ITO靶材承烧垫片的方法有效
| 申请号： | 202211468271.0 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN115710131B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 陆映东;宋春华;黄誓成;梁盈祥;覃丽莉;黄作;莫斌;薛超;张倍维 | 申请（专利权）人： | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B35/64 | 分类号： | C04B35/64;C04B35/101;C04B35/482 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 545036 广西壮族自治区柳州市阳和工*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种清洁ITO靶材承烧垫片的方法，包括以下主要步骤：将表面附着ITO残留物的的承烧垫片放入真空炉中高温1550～1650℃加热，并保持一定的真空度；然后降至1300～1400℃，通空气或氧气保温，然后再一次加热至高温1550～1650℃，并保持一定真空度；保温结束，降至室温清洁完成。本发明采用高温烧结垫片，通过高温去除垫片上的ITO残留物，清洁效果良好，与现有研磨清洁垫片的方式相比，具有垫片无损耗，清洁干净，适合大批量清洁的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 ito 靶材承烧 垫片 方法 | ||
【主权项】：
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