[发明专利]一种曝光设备的拉料补偿方法、装置及存储介质在审
| 申请号： | 202211456817.0 | 申请日： | 2022-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN116068862A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 陈国军;马迪;吴景舟 | 申请（专利权）人： | 迪盛（武汉）微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙) 32269 | 代理人： | 安纪平 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市经济技术开发区8MC地*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曝光设备的拉料补偿方法、装置及存储介质，属于曝光技术领域。拉料补偿方法包括通过对位镜头获取未曝光区域中标记点的位置及上一次曝光区域中标记点的位置，确定曝光介质的实际拉动长度d1；根据期望的拉动长度d和实际拉动长度d1确定当前拉动曝光介质时产生的误差s；控制拉料机构在曝光机构完成曝光后按照长度d‑s拉动曝光介质，以将曝光介质上的未曝光区域移动至曝光机构中。本发明能够在每一次拉料完成后，计算拉料长度偏差，并在下一次拉料时补偿该偏差，使对位镜头可始终捕捉到标记点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 设备 补偿 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
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