[发明专利]一种曝光设备的拉料补偿方法、装置及存储介质

说明书

本发明公开了一种曝光设备的拉料补偿方法、装置及存储介质，属于曝光技术领域。拉料补偿方法包括通过对位镜头获取未曝光区域中标记点的位置及上一次曝光区域中标记点的位置，确定曝光介质的实际拉动长度d1；根据期望的拉动长度d和实际拉动长度d1确定当前拉动曝光介质时产生的误差s；控制拉料机构在曝光机构完成曝光后按照长度d‑s拉动曝光介质，以将曝光介质上的未曝光区域移动至曝光机构中。本发明能够在每一次拉料完成后，计算拉料长度偏差，并在下一次拉料时补偿该偏差，使对位镜头可始终捕捉到标记点。

技术领域

本发明是关于曝光技术领域，特别是关于一种用于曝光设备的拉料补偿方法及实现该拉料补偿方法的拉料补偿装置和存储介质。

背景技术

曝光机广泛应用于半导体、微电子、生物器件等领域中。卷对卷曝光设备是常用的一种曝光机，其曝光流程如下：拉料机构从拉料起始位置拉动长度为d的曝光介质，拉动到拉料结束位置；曝光机构对曝光介质进行曝光作业；曝光完成后，拉料机构再次拉动长度为d的曝光介质，使已曝光的曝光介质离开曝光部分，未曝光的曝光介质进入曝光部分。通常来说，曝光介质被分割成多个需要进行曝光处理的区域，处理完成一段区域后，拉动曝光介质，使下一段区域进入曝光部分。因此，需要进行曝光处理的曝光介质长度与拉料段拉动的曝光介质长度应当是相等的。但是由于基准不同和运动误差，需要进行曝光处理的曝光介质长度d1与拉料段拉动的曝光介质长度d很难做到相同。在一次拉料过程中产生了误差，曝光机构中的对位镜头可以通过捕捉标记点(Mark)来重新计算曝光的启始和终止位置，但如果多次误差累积，对位镜头由于视场的限制，会捕捉不到标记点，进而影响曝光结果。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

发明内容

本发明的目的在于提供一种曝光设备的拉料补偿方法、装置及存储介质，其能够在每一次拉料完成后，计算拉料长度偏差，并在下一次拉料时补偿该偏差，使对位镜头可始终捕捉到标记点。

为实现上述目的，本发明的实施例提供了一种曝光设备的拉料补偿方法，所述曝光设备包括用于将曝光介质拉动一定长度的拉料机构和用于对曝光介质进行曝光的曝光机构，所述曝光机构包括曝光镜头和对位镜头，所述曝光介质沿其长度方向设有若干个间隔分布的标记点，其特征在于，所述拉料补偿方法包括：

通过所述对位镜头获取未曝光区域中标记点的位置及上一次曝光区域中标记点的位置，确定曝光介质的实际拉动长度d1；

根据期望的拉动长度d和实际拉动长度d1确定当前拉动曝光介质时产生的误差s；

控制拉料机构在曝光机构完成曝光后按照长度d-s拉动曝光介质，以将曝光介质上的未曝光区域移动至曝光机构中。

在本发明的一个或多个实施方式中，实际拉动长度d1包括：

分析确定每个标记点的位置信息，所述位置信息包括坐标信息；

通过标记点的位置信息计算曝光介质m的实际拉动长度d1。

在本发明的一个或多个实施方式中，所述曝光镜头和对位镜头同步移动。

在本发明的一个或多个实施方式中，所述误差s为实际拉动长度d1与期望的拉动长度d的差值。

本发明的实施例还提供了一种曝光设备的拉料补偿装置，所述曝光设备包括用于拉动曝光介质移动一定距离的拉料机构和用于对曝光介质进行曝光的曝光机构，所述曝光机构包括曝光镜头和对位镜头，所述曝光介质上沿其长度方向设有若干个间隔分布的标记点，其特征在于，所述拉料补偿装置包括：

长度确定模块，用于通过所述对位镜头获取未曝光区域中标记点的位置及上一次曝光区域中标记点的位置，确定曝光介质的实际拉动长度d1；