[发明专利]一种曝光设备的拉料补偿方法、装置及存储介质在审
申请号: | 202211456817.0 | 申请日: | 2022-11-21 |
公开(公告)号: | CN116068862A | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
发明(设计)人: | 陈国军;马迪;吴景舟 | 申请(专利权)人: | 迪盛(武汉)微电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙) 32269 | 代理人: | 安纪平 |
地址: | 430000 湖北省武汉市经济技术开发区8MC地*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 设备 补偿 方法 装置 存储 介质 | ||
1.一种曝光设备的拉料补偿方法,所述曝光设备包括用于将曝光介质拉动一定长度的拉料机构和用于对曝光介质进行曝光的曝光机构,所述曝光机构包括曝光镜头和对位镜头,所述曝光介质沿其长度方向设有若干个间隔分布的标记点,其特征在于,所述拉料补偿方法包括:
通过所述对位镜头获取未曝光区域中标记点的位置及上一次曝光区域中标记点的位置,确定曝光介质的实际拉动长度d1;
根据期望的拉动长度d和实际拉动长度d1确定当前拉动曝光介质时产生的误差s;
控制拉料机构在曝光机构完成曝光后按照长度d-s拉动曝光介质,以将曝光介质上的未曝光区域移动至曝光机构中。
2.如权利要求1所述的拉料补偿方法,其特征在于,所述曝光镜头和对位镜头同步移动。
3.如权利要求1所述的拉料补偿方法,其特征在于,所述确定曝光介质的实际拉动长度d1包括:
分析确定每个标记点的位置信息,所述位置信息包括坐标信息;
通过标记点的位置信息计算曝光介质m的实际拉动长度d1。
4.如权利要求1所述的拉料补偿方法,其特征在于,所述误差s为实际拉动长度d1与期望的拉动长度d的差值。
5.一种曝光设备的拉料补偿装置,所述曝光设备包括用于拉动曝光介质移动一定距离的拉料机构和用于对曝光介质进行曝光的曝光机构,所述曝光机构包括曝光镜头和对位镜头,所述曝光介质上沿其长度方向设有若干个间隔分布的标记点,其特征在于,所述拉料补偿装置包括:
长度确定模块,用于通过所述对位镜头获取未曝光区域中标记点的位置及上一次曝光区域中标记点的位置,确定曝光介质的实际拉动长度d1;
误差获取模块,用于根据期望的拉动长度d和实际拉动长度d1确定当前拉动曝光介质时产生的误差s;
误差补偿模块,用于控制拉料机构在曝光机构完成曝光后按照长度d-s拉动曝光介质,以将曝光介质上的未曝光区域移动至曝光机构中。
6.如权利要求5所述的拉料补偿装置,其特征在于,所述曝光镜头和对位镜头同步移动。
7.如权利要求5所述的拉料补偿装置,其特征在于,所述误差s为实际拉动长度d1与期望的拉动长度d的差值。
8.如权利要求5所述的拉料补偿装置,其特征在于,所述曝光设备还包括张紧机构,所述张紧机构包括支撑件和张紧杆,所述张紧杆与所述支撑件相枢接,且所述张紧杆位于枢接点的一侧设有用于使曝光介质张紧的张紧轮,所述卷放卷中的曝光介质环绕所述张紧轮后进入所述曝光机构中。
9.一种拉料补偿装置,其特征在于,所述拉料补偿装置包括:
至少一个处理器;
至少一个存储器,所述至少一个存储器被耦合到所述至少一个处理器并且存储用于由所述至少一个处理器执行的计算机程序,所述计算机程序由所述至少一个处理器执行时,使得所述电子设备执行根据权利要求1至4任一项所述的方法。
10.一种计算机可读存储介质,其特征在于,其上存储有计算机程序,所述计算机程序被机器执行时实现根据权利要求1至4中任一项所述的方法。
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