[发明专利]一种集成平面聚焦透镜结构的内线转移CCD及其制作方法

摘要

本发明公开了一种集成平面聚焦透镜结构的内线转移CCD及其制作方法，包括提供一制备好的外延片；对所述外延片的上表面执行表面平坦化操作，在所述外延片的上表面形成一平坦化层；在所述平坦化层的上表面制作一平面结构的超表面层，其中，所述超表面层用于对入射光进行聚焦。本发明相比于原有的透镜结构，采用稳定的无机材料替代原有的微透镜采用有机材料制备得到，使得本发明的透镜结构能够适应的工艺温度范围更广，器件的可靠性显著增强，同时采用2D的透镜结构代替3D的微透镜结构，保持了器件表面的平整性，可进一步与其他的片上集成工艺兼容。