[发明专利]具有窗口的抛光焊盘及其制造方法在审
| 申请号： | 202211434520.4 | 申请日： | 2022-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN116141190A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 许有真;姜贤求;金高恩;徐章源;尹晟勋 | 申请（专利权）人： | 爱思开海力士有限公司;SKC索密思株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/22;B24B37/26;B24D11/00 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 许伟群;李少丹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种抛光焊盘及其制造方法。所述抛光焊盘可以包括顶焊盘层和观察块。顶焊盘层可以包括形成在顶焊盘层的上表面上的沟槽图案。可以穿过顶焊盘层形成第一孔。观察块可以插置在第一孔中。顶焊盘层和观察块可以具有与以下公式1一致的结构。公式1 |
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| 搜索关键词： | 具有 窗口 抛光 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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