[发明专利]一种具备防尘功能的氢气传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211424769.7 | 申请日： | 2022-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN115684275A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 阎大伟;舒琳;张继成;罗跃川;彭丽萍;湛治强;吴卫东;樊龙;蒋涛;王雪敏;杨奇;李恪宇;陈风伟 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;H05K5/02;C23C14/30;C23C14/18;H05B3/20 |
| 代理公司： | 绵阳远卓弘睿知识产权代理事务所(普通合伙) 51371 | 代理人： | 蒋海燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具备防尘功能的氢气传感器，包括衬底，以及设置在所述衬底上的钯镍合金薄膜，且所述衬底上设置有用于连接钯镍合金薄膜的两个第一引线电极，微纳防尘罩，其与所述衬底键合形成腔室，所述钯镍合金薄膜位于所述腔室内，且所述微纳防尘罩对应所述衬底垂直开设有微米级的多个小通孔。本发明，将防尘罩尺寸缩小，同时通过在防尘罩上加工特殊结构可完全防止尺寸在数十微米量级上灰尘颗粒沾污，在大幅缩减封装体积的同时确保器件性能不受影响，具有保障响应速度、保障探测精度、延长使用寿命的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具备 防尘 功能 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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