[发明专利]一种声波器件的制备方法及声波器件有效
| 申请号： | 202211400583.8 | 申请日： | 2022-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN116054775B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 沈君尧;朱德进;姚文峰;庄肇堂;石林豪 | 申请（专利权）人： | 天通瑞宏科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/13 | 分类号： | H03H9/13;H03H9/145;H03H3/04;H03H3/10 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 赵迎迎 |
| 地址： | 314499 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声波器件及其制备方法。声波器件包括衬底晶圆；压电晶圆，位于衬底晶圆一侧；金属电极，位于压电晶圆远离衬底晶圆一侧，金属电极与压电晶圆接触；衬底晶圆设置有第一开口结构，沿第一方向，第一开口结构贯穿衬底晶圆；压电晶圆靠近衬底晶圆一侧设置有第二开口结构，沿第一方向，第二开口结构的厚度小于压电晶圆的厚度，且第二开口结构的投影与第一开口结构的投影至少部分交叠；第一方向为沿衬底晶圆指向压电晶圆的方向。利用衬底晶圆和压电晶圆经刻蚀工艺形成开口结构,保证声波器件实现较高频率和较大带宽，同时降低声波器件的制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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