[发明专利]耦合双联抽真空装置及抽真空方法在审
| 申请号： | 202211384734.5 | 申请日： | 2022-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN115614250A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 贺鸿发;张世源;傅庆源 | 申请（专利权）人： | 广东安达智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B27/00;F04B27/02;F04B39/00 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 陈双喜 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种耦合双联抽真空装置及抽真空方法，耦合双联抽真空装置对待抽真空容器进行抽真空，耦合双联抽真空装置包括高压气源、第一转接模块、第二转接模块、第一泵体以及第二泵体，耦合双联抽真空装置具有中心面，第一泵体和第二泵体相对于中心面对称布置，第一泵体内设有第一活塞组件，第二泵体内设有第二活塞组件，工作时第一活塞组件和第二活塞组件相对于中心面成镜像相向运动或镜像相反运动。发明采用相对中心面对称布置的第一泵体和第二泵体，使得第一泵体和第二泵体的作用力及振动相互对冲抵消，实现耦合效果，平衡性好，稳定性高，可满足高精度设备的使用要求，提高产品生产精度和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 耦合 双联抽 真空 装置 方法 | ||
【主权项】：
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