[发明专利]耦合双联抽真空装置及抽真空方法

说明书

本发明公开一种耦合双联抽真空装置及抽真空方法，耦合双联抽真空装置对待抽真空容器进行抽真空，耦合双联抽真空装置包括高压气源、第一转接模块、第二转接模块、第一泵体以及第二泵体，耦合双联抽真空装置具有中心面，第一泵体和第二泵体相对于中心面对称布置，第一泵体内设有第一活塞组件，第二泵体内设有第二活塞组件，工作时第一活塞组件和第二活塞组件相对于中心面成镜像相向运动或镜像相反运动。发明采用相对中心面对称布置的第一泵体和第二泵体，使得第一泵体和第二泵体的作用力及振动相互对冲抵消，实现耦合效果，平衡性好，稳定性高，可满足高精度设备的使用要求，提高产品生产精度和质量。

技术领域

本发明涉及抽真空技术领域，具体涉及一种耦合双联抽真空装置及抽真空方法。

背景技术

抽真空装置是一种通过真空泵利用机械、物理方法对被抽真空容器进行抽气而获得真空的设备，如附图1所示为现有的电动真空泵，其主要包括泵体、活塞头、曲柄和电机，泵体内设有活塞腔，通过电机驱动曲柄带动活塞头在活塞腔内往复运动，从而达到抽气目的。

由于电动真空泵内部不断产生机械运动，导致电动真空泵在工作过程中振动大，平衡性差，不稳定，抽真空装置安装在半导体芯片、集成电路等高精度设备上时会将振动传递至整个设备上，造成产品生产精度差，质量低。

发明内容

本发明针对现有技术存在之缺失，提供一种耦合双联抽真空装置及抽真空方法,其采用对称设置的两个泵体，使得两个泵体产生的作用力和振动相互对冲抵消，实现耦合效果，平衡性好，稳定性高。

为实现上述目的，本发明采用如下之技术方案：

一种耦合双联抽真空装置，所述耦合双联抽真空装置对待抽真空容器进行抽真空，所述耦合双联抽真空装置包括高压气源、第一转接模块、第二转接模块、第一泵体以及第二泵体；

所述耦合双联抽真空装置具有中心面，所述第一泵体和第二泵体相对于所述中心面对称布置；

所述第一泵体内设有第一活塞组件，所述第二泵体内设有第二活塞组件，工作时所述第一活塞组件和第二活塞组件相对于所述中心面成镜像相向运动或镜像相反运动；通过采用相对中心面对称布置的第一泵体和第二泵体，第一泵体内设置第一活塞组件，第二泵体内设置第二活塞组件，工作时第一活塞组件和第二活塞组件相对于中心面成镜像相向运动或镜像相反运动，使得第一泵体和第二泵体产生的作用力和振动相互对冲抵消，实现耦合效果，平衡性好，稳定性高，可满足高精度设备的使用要求，提高产品生产精度和质量。

作为一种优选方案，所述第一转接模块通过第一进气通道与高压气源相连接，所述第一转接模块具有第一气路和第二气路，所述第一泵体内形成有第一预真空腔和第二预真空腔，所述第一预真空腔和第二预真空腔均与待抽真空容器连接。

作为一种优选方案，所述第一泵体内具有相互隔开的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内形成有第一驱动腔和第一预真空腔，所述第二腔体内形成有第二驱动腔和第二预真空腔，所述第一驱动腔与所述第一气路连接，所述第二驱动腔与所述第二气路连接。

作为一种优选方案，所述第一活塞组件包括第一活塞头和第二活塞头，所述第一活塞头设于第一腔体内，所述第二活塞头设于第二腔体内，所述第一活塞头和第二活塞头通过连接件连接，以使所述第一活塞头和第二活塞头同步同向运动，所述第一活塞头将第一腔体分隔形成所述第一驱动腔和所述第一预真空腔，所述第二活塞头将第二腔体分隔形成所述第二驱动腔和所述第二预真空腔。

作为一种优选方案，所述第一泵体内设有将第一腔体和第二腔体分隔开的隔板，所述第一活塞头与隔板之间形成所述第一驱动腔，所述第一活塞头与第一腔体远离隔板的一侧之间形成所述第一预真空腔，所述第二活塞头与隔板之间形成所述第二驱动腔，所述第二活塞头与第二腔体远离隔板的一侧之间形成所述第二预真空腔。